icp直讀光譜儀，又叫電感耦合等離子體光譜儀，是光譜儀的另外一個主流。主要用于檢測微量及衡量元素的分析，可分析的元素為大多數的金屬元素，具體的檢測元素因為不同廠家采用的核心配件不同而有所不同。icp光譜分析儀的使用范圍廣泛，可用于稀土、貴金屬、合金材料、電子產品的分析檢測，并且可對待測樣品進行定性或從超微量到常量的定量分析。
其中，icp發射光譜法是根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法，在分析的過程中會對檢測材料的的光譜特性(包括波長、強度等譜線特征)，因此可以分為3大過程：
1 ：分光(光柵)，把被檢測材料按照波長進行規律分開。
2 ：感光(傳感器)：將光信號轉換成電信號，對應的測量分析出各波長光的強度。
3：光譜軟件計算顯示：將這些信息用軟件進行計算分析，得出對應的結果顯示給操作人員。
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